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微光显微镜PHEMOS系列
PHEMOS-1000是一款标准型高分辨率微光显微镜，其包含了一个红外共焦激光显微镜。PHEMOS-1000可根据设备环境和设备装置来灵活改变包括插座板到300mm双面晶片探针等等的部件。它还可以适配高灵敏度近红外相机和高分辨率纳米透镜等选配件。该显微镜有多种选配，包括红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析、与大规模集成电路测试机连接和CAD导航功能等，这些选配有助于该显微镜处理多种测量需要。
黑盒照明灯含水银，请根据当地法规处理。
特性
可选配适用于高分辨率、高灵敏度观测的纳米透镜
红外共焦激光显微镜
红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析功能（选配）
低电压样品用高灵敏度近红外相机（选配）
数字lock-in组件加强红外-光致阻值改变的检测能力（选配）
可安装300mm双面半自动探针
显示功能
PHEMOS-1000将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰，细节更多。
显示功能
注释
图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。
比例显示
可使用分段，在图像上显示比例宽度。
栅格显示
图像上可现实水平和垂直栅格。
缩略图显示
图像可以以缩略图的形式存储和调用，stage坐标等图像信息也可显示。
分屏显示
模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。
参数
| 产品名称 | PHEMOS-1000 |
|---|---|
| 探测目标 | 器件发光（发光探测功能） 电流改变（IR-OBIRCH功能） |
| 可用器件 | 300 mm 晶片 200 mm晶片 方块形芯片 切割后晶片、封装后器件（取决于探针和样品固定装置） |
| 适配探针 | 200/300 mm晶片用双面半自动探针*1 200/300 mm晶片用双面手动探针*1 200/300 mm晶片用半自动探针（正面观测）*1 200/300 mm晶片用手动探针（正面观测）*1 |
| 尺寸/重量 | 主单元： 1360 mm (W)×1410 mm (D)×2120 mm (H)， Approx. 900 kg*2 控制台：880 mm (W)×700 mm (D)×1542 mm (H)， Approx. 255 kg PC桌：1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H)， Approx. 45 kg |
| 线电压 | AC220 V (50 Hz/60 Hz) |
| 功耗 | 3000W |
| 真空度 | 约80 kPa |
| 压缩空气 | 约0.5 MPa~0.7 MPa |
*1：根据需求选购。 *2：PHEMOS主单元重量包含一个探针或等效重量。
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