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光学仪器及设备
滨松背照式sCMOS相机ORCA fusionBT
滨松硅光电二极管阵列S4111-35Q
滨松硅光电二极管S1337-33BQ
硅光电二极管S1337-66BQ
滨松微型光电倍增管光子计数探头H12406
滨松光电倍增管R10699
滨松长寿命150W氙灯L11033
滨松氘灯L9518
滨松硅光电二极管S12742-220
滨松硅光电二极管S12742-275
光谱检测分析仪
滨松FTIR光谱仪引擎C15511-01
滨松光学模块C13398-01
滨松光电倍增管R13456
滨松InGaAs线阵图像传感器G13913-128FB
滨松InGaAs线阵图像传感器G13913-256FG
滨松InGaAs线阵图像传感器G14237-512WA
滨松背照式CCD面阵图像传感器S12071
滨松MEMS-FPI近红外光谱探测器C14272
滨松微型光谱仪SMD系列C14384MA-01
滨松C13053MA微型光谱仪
气体检测仪
滨松铟砷锑光伏探测器P11120-201
滨松光电管R6800U-01
滨松光电倍增管R11715-01
滨松光电倍增管R9182-01
滨松铟镓砷PIN光电二极管G12183-010K
滨松砷化铟光伏探测器P10090-11
滨松砷化铟光伏探测器P10090-01
滨松带前置放大器的红外探测器模块C12494-210S
滨松P13894-011NA铟砷锑光伏探测器
滨松P13894-211MA铟砷锑光伏探测器
测量/计量仪器
滨松C11209-110 MPPC(硅光电倍增)模块
C7700-01高动态范围条纹相机
C6138飞秒条纹相机FESCA-200
C11293-02近红外条纹相机
通用型条纹相机
滨松条纹相机
紫外光功率计
光子计数模块
荧光寿命/瞬态吸收分析系统
C11295多点纳米膜厚测量仪
质谱检测分析仪
滨松辅助离子化基板DIUTHAME A13331-3-1
滨松辅助离子化基板DIUTHAME A13331-18-2
滨松辅助离子化基板DIUTHAME A14111-3-1
滨松MCP微通道板F14844
滨松MCP微通道板F14845-11
滨松高压电源模块C14051-15
滨松电子倍增器R4146-10
滨松微通道板MCP F9890-12
滨松电子倍增器R13733
滨松微通道板MCP F13446-11
临床检验仪器设备
C11787系列免疫色谱读取仪
免疫色谱读取仪-荧光型C10066-50
数字切片扫描设备NanoZoomer-XR
数字切片扫描装置(NanoZoomer2.0 HT)
荧光定位仪(PDE)
数字切片扫描装置2.0 RS
数字切片扫描装置NDP C9600-01
半导体行业专用仪器
隐形切割装置
μAMOS红外共焦激光失效分析仪
热点检测微光显微镜THEMOS系列
实时分析微光显微镜TriPHEMOS
倒置微光显微镜iPHEMOS系列
微光显微镜PHEMOS系列
水质分析
BHP9510型手持式ATP快速检测仪
BHP9515型便携式生物毒性测试仪
BHP9514型饮用水安全快速检测仪
BHP9515型便携式(发光细菌)生物毒性测试仪
BHP9511水质毒性快速检测仪
BHP9514饮用水安全快速检测仪(发光细菌毒性检测)
成像系统
双色分光附件
BHP6603型固定角双探头SPECT
BHP6602小型γ相机
BHP6601型SPECT
X射线仪器
碘化铯屏
C4575-03 X射线条纹相机
X射线平板探测器
微焦点X射线源
无损检测/无损探伤仪器
无损检测用X射线平板探测器
X射线探测器
农业和食品专用仪器
ATP荧光快速检测仪
制样/消解设备
数字切片扫描仪NanoZoomer-SQ
其他
L10060 LD加热光源
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产品系列
产品描述
C11011-01W 微米膜厚测量仪
特性
利用红外光度测定进行非透明样品测量
测量速度高达60 Hz
测量带图纹晶圆和带保护膜的晶圆
长工作距离
映射功能
可外部控制
参数
型号 | C11011-01W |
可测膜厚范围(玻璃) | 25 μm to 2900 μm*1 |
可测膜厚范围(硅) | 10 μm to 1200 μm*2 |
测量可重复性(硅) | 100 nm*3 |
测量准确度(硅) | < 500 μm: ±0.5 μm; > 500 μm: ±0.1 %*3 |
光源 | 红外LED(1300 nm) |
光斑尺寸 | φ60 μm*4 |
工作距离 | 155 mm*4 |
可测层数 | 一层(也可多层测量) |
分析 | 峰值探测 |
测量时间 | 22.2 ms/点*5 |
外部控制功能 | RS-232C / PIPE |
接口 | USB2.0 |
电源 | AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz |
功耗 | 50W |
*1:SiO2薄膜测量特性
*2:Si薄膜测量特性
*3:测量6 μm厚硅薄膜时的标准偏差
*4:可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL
*5:连续数据采集时间不包括分析时间